8月20日，云南“智能制造5G应用创新实验基地”在昆明船舶设备集团有限公司挂牌成立。此后，昆船集团将携手3大公司，探索、推动5G技术与工业制造行业应用的深度融合。

液晶背光模块厂中光电宣布，已于7月底新设100%持股子公司中光电智能感测，并于9月初完成收购智动全球（Global MEMS）微机电系统（MEMS）相关业务及资产，将正式跨入MEMS新事业领域。

据麦姆斯咨询报道，泰科电子（TE Connectivity）将从德国半导体公司Elmos Semiconductor收购总部位于美国加利福尼亚州的MEMS压力传感器制造商Silicon Microstructures。

10 月 31 日讯，SEMI 发布了至 2023 年的最新 MEMS 和传感器晶圆制造厂（Fab）报告，报告称，预计在 2018 年到 2023 年期间，由于通信、运输、医疗、移动、工业、机器人、物

记者从第三届中国MEMS智能传感器产业发展大会获悉，11月24日上午，安徽省智能传感器创新联盟在蚌成立，9家单位成为联盟首批成员单位，在今后时间内，将通过紧密合作，携手推动智能传感器领域产业创新发展。

日前，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息，其公司负责的MEMS中试量产平台（以下简称“平台”）目前运行良好，已服务客户60余家、产品180余颗，2019年预计出货超过20000片6寸片，年出货量在全国代工线中名列前茅。

据外媒消息报道，德国德累斯顿弗劳霍恩夫光电微系统研究所（Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems，IPMS）的一组研究人员正在研发一种微扫描镜（MEMS扫描仪），可以让汽车可靠且不受干扰地感知周围环境。

据外媒消息报道，德国德累斯顿弗劳霍恩夫光电微系统研究所（Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems，IPMS）的一组研究人员正在研发一种微扫描镜（MEMS扫描仪），可以让汽车可靠且不受干扰地感知周围环境

2019年12月25日，北京耐威科技股份有限与国家集成电路产业基金共同投资的赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司“8英寸MEMS国际代工线建设项目首台设备搬入仪式”在北京市经济技术开发区盛大举行。

MEMS加速度计芯片的使用环境-通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。 通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。 MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。一个好的工程师能够使用MEMS加速度计

据彭博社报道，瑞声科技近日宣布在英国设立MEMS麦克风全球研发中心，以加速其在微机电领域的全球布局。据了解，2020年1月瑞声科技通过自主

据彭博社报道，继今年1月率先实现70dB高信噪比MEMS麦克风全国产化后，瑞声科技(AAC)近日宣布在英国设立MEMS麦克风全球研发中心，以加速其在微机电领域的全球布局。

敏芯微是如何在国内MEMS发展“一穷二白”之时实现技术自主研发？其技术优越性究竟几何？与英飞凌、博世等半导体巨头相比，敏芯微又以何优势与之抗衡？

敏芯微是如何在国内MEMS发展“一穷二白”之时实现技术自主研发？其技术优越性究竟几何？与英飞凌、博世等半导体巨头相比，敏芯微又以何优势与之抗衡？

近日，复旦大学微电子学院教授卢红亮（通讯作者）领导的团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺，在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料，并以此作为气体传感器，对浓度低至1ppm的硫化氢实现了超灵敏和高选择性的探测。

在天风证券春季论坛半导体交流会上，赛微电子董事会秘书、副总经理张阿斌表示，在COVID-19疫情背景下，国际及国内物流及人员交流均受到不同

与非网(eefocus)定位为电子技术门户网站和信息服务平台，专注于电子及半导体产业的市场动态和前沿技术，为相关厂商提供信息发布、技术社区等定制化服务，为电子工程师提供产业资讯、新品信息、技术资料和深度市场分析等精品内容。

6月15日，赛微电子接受投资者提问时表示，公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，ASML目前为公司MEM

MEMS技术传感器正逐渐演变成为汽车传感器的主要部件。MEMS传感器行业是一个新兴的行业，在在全球只有20余年的产业化历程。随着自动驾驶以及无所不在的自动化，必将带来MEMS下一波浪潮。

可填补国内中高端MEMS（微机电系统）半导体传感器芯片空白的两江智能装备产业园，预计明年4月试生产，届时将助力我国MEMS传感器芯片研发与工艺达到世界先进水平。

刚刚上市的敏芯股份，又迎来历史性时刻。9月1日，敏芯股份官方宣布，公司MEMS传感器出货量达到10亿颗！公司主要负责人及员工代表出席了本次

赛微电子晚间公告，公司拟向特定对象发行股票募集资金总额不超过242,711.98万元，扣除发行费用后的募集资金净额拟投入8 英寸 MEMS 国际代工线建设项目、MEMS 高频通信器件制造工艺开发项目、MEMS 先进封装测试研发及产线建设项目及补充流动资金。

9月22日，赛微电子发布投资者调研活动记录表。近年来，面向基于高频通信的物联网与人工智能时代，通过外延并购与内生发展，赛微电子逐渐形

北京赛微电子股份有限公司位于瑞典斯德哥尔摩的全资子公司Silex Microsystems AB所拥有的成熟运转的MEMS产线现已完成升级扩产，原有6英寸产线（FAB1）已升级切换成8英寸产线，原有8英寸产线（FAB2）亦已完成扩产。

Menlo Microsystems日前宣布募集到4400万美元的B轮融资，Menlo旨在将通用电气全球研究中心的MEMS开关工作商业化。“这一轮融资将使我们能

随着微处理器，嵌入式系统和其他模块（尤其是微机电系统（MEMS）传感器）的小型化，电子产品中的传感器正在以非常快的速度发展。

MEMS的关键技术驱动因素和技术障碍-工业自动化是一个突出的业务，它正朝着一个新的方向迈进。对品种、定制产品和产品差异化的需求不断增加，使得制造商很难批量生产零部件。

半导体供应商、MEMS(微机电系统)技术的世界领导者意法半导体(STMicroelectronics,简称ST；纽约证券交易所代码:STM)于日前宣布，与新加坡A

电子发烧友网报道（文/李弯弯）近些年，随着集成电路行业的不断发展，传统集成电路无法持续满足终端应用日渐变化的需求，MEMS行业在这种背景下逐渐成长起来。 MEMS，即Micro-Electro-Mechanical System，中文名微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，该类产品是以集成电路工艺为基础，结合微加工等技术打造的新型芯片。 随着终端应用市场的持续扩张，MEMS的应用也越来越广泛，产业规模化日渐扩大，逐渐成为集成电路行业的一个新分支。

与大多数电子元件一样，MEMS的成本由开发和资本支出决定。内容的日益复杂，尤其是在接口ASIC和软件中，使得MEMS开发成为一个多学科的壮举，需要跨多个设计中心的多种能力来满足不断增长的时间表。

本文编译自Ferrelectronics当涉及到用于声音和语音控制的传感器技术时，从音频设备本身到软件和算法以及MEMS麦克风正在进行飞跃式发展，此

解决高频MEMS测试驱动问题的方案是什么-高频MEMS驱动测试在当今科学技术发展中应用越来越多，在物理学、半导体、光学、电子工程、材料工程、机械工程及生物工程等多种学科和技术中都有涉及。近日，某科研单位需要实现正弦波驱动，信号带宽2MHz，驱动电压需要达到150Vpp，目前市面上的标准信号发生器输出电压低、电压小于10Vpp带负载能力弱，输出电流是mA级别。无法解决高压大功率驱动问题。 如何解决高频MEMS测试驱动问题 高频MEMS核心器件主要是一种压电控制器件，主要是利用其压电效

基于ICP的金属钛深刻蚀，它的实验流程是怎样的-摘要：MEMS应用领域的扩展要求开发硅材料之外其他新型材料的三维微细加工技术．为此，对金属钛这一新型MEMS体材料的三维加工进行了探索．金属钛不仅延展性和导电性好，且断裂韧度高、高低温特性以及生物兼容性好．采用电感耦合等离子体源(inductivelycoupledpla蛐，I凹)技术对金属钛进行三雏深刻蚀，采用不同刻蚀掩模、氯基刻蚀气体，研究了线圈功率、平板功率和娼流量对刻蚀速率和选择比等工艺参数的影响，并对砸深刻蚀参数进行了优化，得到0．

刚刚过去的2020年，对于国内半导体产业界来说有诸多挑战，突发的疫情、中美贸易冲突等各类黑天鹅事件也让产业界重新审视发展路径和重心。安

英飞凌持续引领MEMS麦克风市场，新技术进一步改善声学性能和功耗-现在，英飞凌推出新一代模拟MEMS 麦克风──XENSIV™ MEMS 麦克风 IM73A135可提供更好的效果。