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IMEC谈EUV工艺的新进展

2019年，EUV光刻（EUVL）将达到一个重要的里程碑。经过多年的等待，先进光刻技术终于进入大批量生产。
2019-09-04 09:10
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EUV光刻能够实现，日本这家小公司功不可没

在经历了二十多年的研发之后，芯片制造商在一项能够大幅度提升硅片上晶体管密度的技术上压下了重注，那就是EUV光刻。
2019-03-13 08:45
1604

台湾大停电，这事得EUV光刻机背锅！

半导体行业观察：台积电董事长张忠谋曾在 2 年前准确预言今日的缺电危机。
2017-08-16 08:48
5149

台积电 7nm EUV 已量产，产能今年将提升 150%

5月27日消息，据国外媒体报道，在芯片工艺方面，台积电近几年都走在行业前列，在去年率先量产7nm工艺之后，其更先进的7nm EUV工艺也已开始量产。
2019-05-27 18:16
1449

三星将代工IBM Power11处理器，这单子够大

随着10nm以及更先进光刻工艺的难度加大、资本要求更加密集，有实力参与的晶圆厂商数量骤减。在UMC（联电）和GF（格芯）放弃后，基本只剩下台积电、三星和Intel三家有此实力。
2018-12-25 18:23
1474

与台积电争晶圆代工头牌 三星向ASML订购15台EUV设备

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 根据韩国媒体报导，为了期望在2030年达到成为全球第1半导体大厂的目标，
2019-10-18 21:43
1323

7nm上马EUV，三星有望追上台积电

半导体代工企业间的竞争越演越烈，台积电与三星电子也争先恐后地加强开发速度，EUV（极紫外线）技术将成为决胜关键。
2019-05-30 16:48
1700

《DJ在线》EUV世代下，台厂能分几杯羹?

<article id="MainContent_Contents_mainArticle" itemscope="" itemtype="https://schema.org/NewsArticle
2019-10-01 12:20
1348

台积电EUV制程3月量产；可望吃下苹果A14处理器订单

晶圆代工龙头台积电(2330)将于3月开始启动支援极紫外光(EUV)技术的7+奈米制程量产计画，而全程支援EUV技术的5奈米制程也将接续进入试产；
2019-02-25 10:36
1606

AMSL最新一代EUV设备2025年量产

为了因应制程微缩的市场需求，全球主要生产EUV设备的厂商艾司摩尔（ASML）正积极开发下一代EUV设备，就是High-NA（高数值孔径）EUV 产品，预计几年内就能正式量产。
2019-07-02 10:31
1470

半导体业拥抱EUV技术 代工厂资本支出直线攀升

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 台积电、英特尔和三星为打造体积更小、效能更强的处理器，纷纷导入极紫外光（
2019-11-06 17:02
879

5nm芯片设计成本或将高达2.5亿美元

半导体行业观察：N5设计的总成本包括人工和IP授权费用约高达2亿至2.5亿美元，较目前7nm芯片所需要的1.5亿美元更大幅上涨。
2018-11-22 08:36
1044

AMSL的光刻机如何能卖上亿美元？

近日荷兰大厂ASML公布2018年Q3季度财报，季度营收为27．8亿欧元，净利润为6．8亿欧元，全季度出货5台EUV，同时ASML预计今年将出货18台EUV，明年奖把产量提升至30台。
2018-10-26 17:13
1716

5nm即将试产，台积电大步迈入EUV时代

晶圆代工龙头台积电将在3月开始启动支援EUV技术的7+纳米量产计画，支援EUV的5纳米亦将同步进入试产。
2019-02-25 09:00
1141

ASML宣布攻克250瓦EUV光源，芯片微缩有救了

半导体行业观察：尽管所花的时间与成本几乎比所有人预期得要多，半导体产业终于还是快要盼到极紫外光微影技术的大量生产
2017-07-15 13:08
2341

探索新的缩放方法

探索新的缩放方法UC讨论植入式光刻，可重新配置的电线和几乎全门。
2017-10-20 11:28
1910

台积电以EUV推7纳米强效版，客户产品大量进入市场

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 台积电宣布，其领先业界导入极紫外光（EUV）微影技术的7纳米强效版(N7
2019-10-08 17:05
868

[原创] 狠，三星想买断所有EUV机台 ！

半导体行业观察：韩媒BusinessKorea昨日报道，三星有意一口气买下10台单价为1.76亿美元的EUV。
2017-10-21 11:59
原创
7784

三星7nm工艺遇到瓶颈？

半导体行业观察：Exynos 9820搭载8纳米LPP制程，若不是三星7纳米制程推出赶不及，就是研发7纳米制程遇上瓶颈。
2018-11-23 08:48
1384

南京大学王致远：用于DUV和EUV探测的高性能SiC肖特基势垒光电二极管

11月25－27日，由深圳市龙华区科技创新局特别支持，国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）、第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）主办，深圳第三代半导体研究院与北京麦肯桥新材料生产力促进中
2019-12-02 10:19
1009

新型EUV光源，有助于解决7纳米和光刻胶的材料问题

现在，一种基于最先进激光器的新型实验室EUV光源能够为开发人员提供更高的空间和时间分辨率，这有助于开发人员理解并解决上述问题。
2019-03-25 10:45
1466

逻辑和存储器芯片受青睐 第三季ASML接23台EUV系统订单

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 全球半导体微影技术领导厂商ASML 16日发布2019年第3季财报。根据
2019-10-17 16:42
1604

[原创] EUV是实现7nm的唯一技术？

半导体行业观察：在推动每一个后续半导体节点的发展方面，光刻技术的进步一直都起着至关重要的作用。
2018-03-14 08:24
原创
2035

传三星将争夺韩无晶圆厂订单、并拟设新EUV产线

记忆体价格疲弱，南韩业者转攻晶圆代工、IC设计等半导体产业
2019-04-23 20:25
1458

ASML今年EUV设备出货量年增率上看66%

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 半导体设备大厂ASML历经半导体产业低谷后，近期受台积电5、7纳米制程的
2019-10-08 16:58
1211

半导体设备厂商竞争格局生变？

半导体设备供应商的排名在2016-2017年间没有发生太大的变化，但是这种格局正在发生变化。不仅Lam Research、ASML和东京电子的位次发生调转，排名第一的应用材料公司的宝座位置也岌岌可危。
2018-12-13 15:28
1695

重回三星怀抱，高通骁龙865用上7nm EUV

现在7nm EUV节点上三星据悉又要代工新一代骁龙处理器，也就是传闻中的骁龙865了。
2019-06-12 19:39
1902

全球第一颗7nm EUV芯片！三星正式发布Exynos 9825

8月7日，三星正式发布全球首款7nm EUV芯片Exynos 9825，这款SoC采用了三星的7纳米EUV工艺，可将晶体管性能提高20－ 30％，同时耗电量减少30－ 50％。早在去年的十月份，三星就宣布了量产7nm EUV工艺，但在十个月后的今天才真正的发布
2019-08-08 08:38
1764

三星今年6月开始大规模生产7纳米(nm)极紫外(EUV)芯片

据businesskorea报道，三星电子将于今年6月开始大规模生产7纳米(nm)极紫外(EUV)芯片。
2019-04-11 16:38
1421

DRAM开始进入EUV时代？

半导体行业观察：根据国外媒体报导，曾表示目前制程技术还用不上EUV技术的各大DRAM厂在目前DRAM价格直直落，短期看不到止跌讯号的情况下，也顶不住生产成本的压力，开始考量导入EUV技术，以降低生产成本。
2019-06-20 11:26
1603

联发科技将于2019年发布5G调制解调器芯片

根据一家公司的说法，联发科技最近发布了5G调制解调器芯片组解决方案Helio M70，该解决方案采用台积电采用EUV技术的7nm工艺制造，并将于2019年开始正式发货，旨在确保在5G市场抢占先机。6月5日发布公告。
2018-06-06 00:00
1439

为什么ASML一年最高产量只有30部EUV？
2019-06-10 14:51
2039

7nm+EUV工艺大规模量产，EUV光刻机销量有望走高

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 台积电近日宣布，已经开始了7nm+ EUV工艺的大规模量产，这是该公司乃
2019-10-17 16:30
935

EUV技术创新绘制半导体蓝图

<div class="newspage-cont" style="margin-bottom: 20px;"> <p> 半导体细微化（Scaling）是目前半导体行业最热门的话题之一。随着DR
2019-10-16 22:34
868

中国首台ASML NXT2000i正式入驻SK海力士无锡工厂

12月19日晚间，中国首台艾司摩尔NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。
2018-12-21 14:47
1717

7纳米EUV制程战火燃，台积电3月领先量产

延续7纳米制程领先优势，台积电支援极紫外光(EUV)微影技术的7纳米加强版(7+)制程将按既定时程于3月底正式量产
2019-02-12 08:59
1897

荷兰光刻机巨头ASML能否如期向中芯国际交货？

作为目前全球最先进极紫外（EUV）光刻机的唯一供应商，阿斯麦在美国牵头的《瓦森纳协定》（Wassenaar Arrangement）的影响下，一度对中国禁售高端光刻设备，阻碍了中国在芯片制造领域的发展，但此种局面在去年迎来转机。
2019-01-24 15:21
2919

EUV微影技术进入量产最后冲刺阶段

半导体行业观察：尽管极紫外光(EUV)步进机的大量生产面临复杂的问题以及紧迫的时间，专家们仍然抱持乐观态度。
2018-05-31 08:47
1785

看完这篇，你就明白为啥台积电不可超越

半导体行业观察：日前，关于三星将会提前推进7nm工厂建设，抢单台积电的新闻在各大媒体平台传播。
2017-08-23 08:45
4878

台积电N7+工艺节点明年量产，明年4月开始风险投产

台积电(TSMC)宣布投片采用部分极紫外光刻(EUV)技术的首款N7+工艺节点芯片，并将于明年4月开始风险试产(risk production)采用完整EUV的5nm工艺。
2018-11-21 15:19
1707

ASML、IMEC联合研发第二代EUV光刻机 3nm工艺的救星？

EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战，目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态，EUV工艺还有很长的路要走。
2018-10-31 08:38
1370

EUV 量产技术获得突破，DRAM 生产成本有望降低？

根据国外媒体报导，曾表示目前制程技术还用不上EUV技术的各大DRAM厂在目前DRAM价格直直落，短期看不到止跌讯号的情况下，也顶不住生产成本的压力，开始考量导入EUV技术，以降低生产成本。南韩三星将在2019 年底前正式导入。
2019-06-20 16:26
1865

ASML、中芯国际双双“表态”：EUV光刻机出货正常

去年4月，中芯国际向荷兰ASML公司订购了一台EUV光刻机，用于研究7n
2019-11-11 09:53
1455

ASML今年将推新一代EUV光刻机，产能为每小时170片

昨天，荷兰光刻机大厂ASML发布了其2018年的财报。数据显示，公司2018全年销售额为109亿欧元，净收入为26亿欧元，预计2019年第一季度销售额约为21亿欧元，毛利率约为40％。
2019-01-24 08:42
1596

EUV光刻机将如何发展？

AI、5G应用推动芯片微缩化，要实现5nm、3nm等先进制程，意味着需要更新颖的技术支援以进行加工制造，半导体设备商遂陆续推出新一代方案。
2019-08-26 08:50
1945

有IBM订单助力，三星7nm EUV工艺追击台积电稳了？

IBM下一代的Power10计划在2020年至2021年推出，采用三星7nm EUV工艺。按照IBM此前的处理器路线图规划，目前的Power9使用的是14nm工艺，依然由格芯代工，下一代的Power10处理器规划使用10nm工艺，再下一代的Power11才会使用7nm工艺。
2018-12-21 18:03
1153

三星开始批量生产10LPP工艺

三星电子日前宣布，其代工业务已经开始大量生产基于第二代10nm FinFET工艺技术10LPP（低功耗Plus）的系统级芯片（SoC）产品。
2017-12-08 11:40
2040

三星EUV 7nm翻车始末，到底EUV靠谱吗？

三星EUV 7nm芯片翻车事件，可以说是前段时间震惊行业的一件大事。这个事情之所以引发如此大的轰动，原因还是相当复杂。
2019-09-19 10:51
785

全球晶圆代工厂商的竞赛走向 7 纳米，采用EUV后成本大增

全球晶圆代工厂商的竞赛走向 7 奈米，背后需要的巨额研发基金，尤其是 EUV，成本更是已高达目前的 (ArF) 光源搭配浸润式显影 (Immersion lithography) 二倍之多，如此高额的成本，已经打退了联电、GlobalFoundries 等玩家，只剩台积电 (2330-TW)、三星电子二间大厂有能力负担。
2018-12-28 16:25
1385

ASML正在开发下一代EUV光刻机

半导体行业观察：ASML的副总裁Anthony Yen日前表示，他们已经开始研发下一代光刻机。
2018-12-07 08:31
1115

华为将第一个采纳台积电的EUV极紫外光刻工艺

华为麒麟处理器这几年与台积电的合作关系非常紧密，16nm、10nm、7nm都拿到了首发，分别合作推出了麒麟960、麒麟970、麒麟980。
2018-12-28 16:25
1492

7nm之后中国大陆将无能为力？原因让人无奈！

半导体行业观察：随着三星10 纳米制程借高通骁龙835 处理器的亮相，以及由台积电10 纳米制程所生产的联发科Helio X30 处理器
2017-08-26 13:16
3417

台积电：今年7纳米总产能将增加1.5倍，5纳米预计明年量产

台积电举办技术论坛，今年台积电总产能将以7纳米成长最多，第二代加入EUV的7纳米预计第3季量产，今年7纳米总产能将增加1 5倍，达到100万片
2019-05-25 19:14
1329

EUV光刻机将用来生产10nm DRAM，2019年初量产

半导体行业观察：先前传出三星电子耍手段拓展晶圆代工市场，打算买断EUV(极紫外光)设备，让台积电(2330)买不到。
2017-11-30 08:55
2670

EUV缺陷为芯片前景蒙上阴影

半导体行业观察：极紫外光微影(EUV)技术据称将在5纳米(nm)节点时出现随机缺陷。根据研究人员指出，目前他们正采取一系列的技术来消除这些缺陷
2018-04-10 08:55
1284

台积电即将量产紫外光7nm制程，5nm还有多远

晶圆代工龙头台积电将于3月开始启动极紫外光(EUV)技术加持的7+ nm制程量产计划，全程使用EUV技术的5nm制程也即将进入试产阶段。业界预期，苹果在明年将推出的A14处理器，预计会使用台积电的5nm工艺来生产。
2019-02-25 15:16
1868

台积电推出晶圆堆叠生产方式、未来绘图芯片设计将可受惠

日前，在美国加州 Santa Clara 举行的第 24 届年度技术研讨会上，台积电宣布推出晶圆堆叠 （ Wafer-on-Wafer，简称 WoW ） 的技术。借由这样的技术，未来绘图芯片业者包括英伟达 （Nvidia） 及AMD （AMD） 都将会受惠。另外，台积电还...
2018-05-07 10:45
1923

台积电再放大招，惊人投资曝光

半导体行业观察：全球晶圆代工龙头台积电在17日法说会在即，利多消息不断也推升股价飙涨至接近300元大关，不仅7纳米制程产能满载至年底前，其他先进制程例如极紫外光(EUV)微影技术7纳米强效版（N7+）制程，已协助客户产品大量进入市场
2019-10-17 09:02
790

寡头之争，三星抢用EUV工艺显急态？

先进半导体工艺的角逐，只剩下台积电和三星在领跑。根据三星最近公布的工艺演进路线来来看，为何该公司要抢先在今年的7nm上首家采用EUV工艺？7nm之后，三星的工艺研发又将走向何方？
2018-09-10 16:50
2563

从头了解光刻机

在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。
2018-12-09 12:02
1873

AMD首席技术官谈7nm芯片设计：史上最难

半导体行业观察：AMD公司首席技术官表示，AMD是众多芯片设计厂商中比较早获得7nm工艺技术之一的公司。
2017-07-27 08:49
2214

一亿多欧元一台的设备供不应求，这家荷兰公司二季度表现亮眼

半导体行业观察：全球最大芯片光刻设备市场供货商阿斯麦 (ASML) 今日公布 2017 第二季财报。
2017-07-20 09:03
4523

台积电3nm EUV工艺进展顺利，已有早期客户参与

近两年先进半导体制造主要是也终于迎来了EUV光刻机，这也使7nm之后的工艺发展得以持续进行下去。
2019-07-24 15:58
1853

ASML传「中止」供应EUV设备给中芯国际？中芯国际和ASML最新回应！
2019-11-07 07:33
1754

[原创] EUV的新挑战

半导体行业观察：极紫外（EUV）光刻技术正在接近生产，但是随机性变化——又称为随机效应正在重新浮出水面，并为这项期待已久的技术带来了更多的挑战。
2018-03-23 08:56
原创
1399

台积电：7nm EUV芯片首次流片成功 5nm明年试产

全球一号代工厂台积电宣布了有关极紫外光刻（EUV）技术的两项重磅突破，一是首次使用7nm EUV工艺完成了客户芯片的流片工作，二是5nm工艺将在2019年4月开始试产。
2018-10-10 09:46
1467

寻找EUV掩模缺陷

寻找EUV掩模缺陷光学检查之后什么不清楚，这是一个大问题。
2017-10-20 11:30
3062

[原创] 先进制程DRAM抛弃了EUV？

半导体行业观察：DRAM制程工艺进入20nm以后，由于制造难度越来越高，内存芯片制造厂商对工艺的定义已经不是具体的线宽，而是分成了1x、1y、1z，大体来讲，1x-nm制程相当于16~19nm......
2019-12-03 08:42
原创
1435

台积电7nm样品已流片，三星加速追赶

半导体行业观察：据Digitimes报道称，台积电目前已经流片了13张7nm样品芯片，2018年即可开始批量生产
2017-07-18 08:43
3360

两家晶圆厂巨头抢EUV光刻机，ASML大挣特挣

半导体行业观察：芯片设备供应商艾司摩尔ASML的表现，可能要比大多数人想像的要好
2018-04-11 08:50
1664

IMEC研发出新型EUV光源，有助解决7纳米和光刻胶的材料问题

半导体行业观察：现在，一种基于最先进激光器的新型实验室EUV光源能够为开发人员提供更高的空间和时间分辨率，这有助于开发人员理解并解决上述问题。
2019-03-16 11:04
1431

抢夺EUV光刻机，晶圆厂军备竞赛开打

半导体行业观察：日前，台积电宣布7纳米强效版及5纳米导入EUV微影技术且成功量产入市后，南韩媒体报导，三星向半导体设备大厂艾司摩尔（ASML）下订15台EUV设备
2019-10-22 08:48
1238

DRAM过渡到EUV的10nm以下节点仍然是一个金融挑战

主要DRAM芯片制造商将继续为其1x /1y节点使用多种图案化曝光技术，但是根据"超薄紫外线（EUV）" 光刻技术，为了制造10nm以下的芯片，问题仍然悬而未决。行业来源。
2017-09-27 15:59
1985

台积电：28nm仍非常重要

半导体行业观察：由于在成本和性能上的平衡，在很多专家看来，28nm将会持续很长一段时间
2018-10-22 08:54
2002

半导体市场需求热络，ASML 2018 年首季营收优于预期

由于全球半导体市场表现依旧强劲，使得对于半导体生产设备的需求持续不减。因此，欧洲半导体设备大厂阿斯麦 （ASML） 在 18 日公布 2018 年第 1 季的财报时，成绩高于 3 个月前的预估值，也优于之前市场分析师的预估。
2018-04-19 10:29
1303

台积电三星争霸战，EUV技术将成为王牌

半导体代工企业间的竞争越演越烈，台积电与三星电子也争先恐后地加强开发速度，EUV（极紫外线）技术将成为决胜关键。据韩媒报道， 三星电
2019-05-31 16:50
1090

英特尔的EUV计划尚未明朗

半导体行业观察：虽然，英特尔是否会用上EUV 设备还未定，但是出脱股票却让荷包赚满。
2018-10-16 08:29
1468

再传台积电考虑搬去美国，台湾咎由自取

半导体行业观察：8月15日下午，台湾当地经历了有史以来最大规模的无预警停电，当时总共造成全台湾668万户瞬间用电受影响，17县市出现大规模停电，比例超过台湾总用户的一半。
2017-08-21 08:57
3442

三星明年将成全球首个提供3D SiP的代工厂，3nm 2020年试产

三星最近在日本举办了三星铸造论坛2018（Samsung Foundry Forum 2018，SFF），发布了几个重要的信息。
2018-09-09 12:16
2009

惨！英特尔EUV已延期14年，预估2021年前仍难以见到

外媒报导，英特尔Intel已经落后于目标进度的工艺技术，上周再次受到打击。
2018-09-06 09:03
2195

家登Q3有望再攻顶；明年光罩载具出货看倍增

<article id="MainContent_Contents_mainArticle" itemscope="" itemtype="https://schema.org/NewsArticle
2019-09-19 09:00
963

首次引入EUV，台积电7nm+工艺明年Q2量产

台积电持续冲刺先进制程，采用极紫外光（EUV）微影技术的首款7＋纳米芯片已经完成设计定案
2018-10-08 08:41
1872

中芯国际关于韩国媒体涉EUV不实报道的声明

中芯国际关于韩国媒体涉EUV不实报道的声明
2019-12-10 11:24
1041

IMEC和KMLabs合作研发出一种新型EUV光源，有助于解决困扰7纳米和光刻胶的棘手材料问题
2019-03-18 19:47
1037

三星和高通扩大EUV工艺技术的代工合作

三星电子和高通科技宣布他们打算将其长达十年的代工关系扩展到EUV（极端紫外）光刻工艺技术，包括使用三星7纳米LPP（低功率Plus）EUV工艺技术制造未来的高通Snapdragon 5G移动芯片组。
2018-02-24 10:56
1920

SEMICON台湾2017: KLA-Tencor展示标线板空白检测工具

在2011年的SEMICON台湾2017展会上，KLA-Tencor展示了其新的FlashScan光罩空白检测产品线，代表公司进入专用的掩模版检验市场。
2017-09-13 14:44
2108

台积电、三星和英特尔纷纷加码EUV技术，ASML恐成最大赢家

随着先进半导体制程的尺寸不断微缩，相关设备的价格也变得越来越高昂，各大晶圆厂纷纷加码资本支出。台积电、英特尔和三星为打造体积更小、效能更强的处理器，纷纷导入极紫外光（EUV）技术，相关设备极其昂贵，3 家大厂资本支出直线攀升，ASML 等设备厂则成为受益者
2019-11-07 11:13
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