摩尔芯闻 > 行业新闻 > 半导体 > [原创] 狠,三星想买断所有EUV机台 !

[原创] 狠,三星想买断所有EUV机台 !

半导体行业观察 ·2017-10-21 11:59·半导体行业观察
阅读:6647


韩媒BusinessKorea昨日报道,三星有意一口气买下10台单价为1.76亿美元的EUV。三星如果真的这样做,那就会提升其在7nm等先进工艺上的领先优势。这一方面是由于EUV设备是未来集成电路发展的关键,另一方面则在于三星如果真能买下10台,那么台积电、Intel和格芯等厂商则会面临几乎未来一年内无EUV设备可买的风险。

因为根据EUV设备唯一供应商——荷兰ASML的消息显示,他们每年大概能生产12台EUV设备。考虑到三星之前已经快对手一步购入了一些EUV设备,使得韩媒做出了这样的猜测。但三星的计划真的得逞吗?


is-content="t" style="box-sizing: border-box;line-height: 1.8;padding-right: 10px;padding-left: 9px;z-index: 10000;background: rgb(255, 255, 255);"> 巨头们的EUV布局,未来胜负的关键

在摩尔定律的指导下,经历数十年发展的集成电路开始面临瓶颈:工艺制程进入10nm之后,过往的可见光光刻技术似乎不能应对如此小的沟通,因此业界将目光投向了EUV(极紫外光)光刻

利用这种波长为13.4nm的光源打造的EUV光刻设备能够在晶圆上刻上先进工艺所需的电路。于是包括台积电、三星、Intel和格芯在内的几大先进晶圆代工厂都将目光投向了这个设备,并说出了他们在EUV光刻机上的布局和规划:

首先在台积电方面,虽然台积电他们透露已经在7nm研发上使用了7nm工艺,并实现了EUV扫描机、光罩和印刷的集成。但根据台积电联席CEO 刘德银在2016年的某会议上的演讲透露,台积电方面认为EUV光刻工艺直到2020年才能有效量产。按照台积电的路线图,也就就是说,台积电会在5nm上采用EUV工艺取代现在的传统光刻。已达到在新工艺上提高密度,简化工艺并降低成本的目的。

来到三星这边似乎则更为激进。在之前的报道中我们看到,三星计划在7nm制程中采用EUV光刻。在ASML与今年7月的半导体设备站上宣布突破了250瓦EUV光源的瓶颈后(光源功率(source power)──也就是传送到扫描机以实现晶圆曝光的EUV光子(photon)数量之量测值──直接等同于生产力,芯片制造商一直以来都坚持250瓦的光源功率是达成每小时125片晶圆(WPH)生产量的必要条件,即production-ready。),三星宣布将会在2018年推出使用EUV等先进制造技术的7nm新工艺。

来到Intel方面,作为制造巨头,英特尔在先进制程方面的引进相当克制。在早前的制程大会上,在问到EUV的布局上面,英特尔方面表示,从他们方面看来,EUV光刻的产能和配套服务,目前还不能符合量产需求,因此他们会保持对新设备的关注,在适合的时候会进行公布。

来到格芯方面,在今年六月份,格芯公布了他们的7nm进度,根据他们的Roadmap,他们将会在2018年进入7nm,但是这时候用的是DUV技术,根据他们的布局,会在2019年引入EUV技术。


is-content="t" style="box-sizing: border-box;line-height: 1.8;padding-right: 10px;padding-left: 9px;z-index: 10000;background: rgb(255, 255, 255);"> 三星真能垄断EUV光刻机?

BusinessKorea的报道显示,ASML从2000年开始就投入了EUV光刻的研究。在研发早期,三星和Intel就对ASML提供了极大的支持。

在2012年8月,三星宣布加入了ASML的客户联合投资计划。根据协议规定,三星承诺在未来五年内(从2012年算起),向ASML的次时代微影技术投入2.76亿欧元,占整个项目13.8亿欧元筹款目标的15%。与此同时三星向ASML投资了5.03亿欧元,取得ASML约3%股权。

但到了2016年,三星宣布出售价值约6.06亿欧元的ASML股权,这占了当时ASML整体股权的1.45%。也就是说三星手上的ASML股权大约剩下1.55%。

英特尔方面也加入了三星的客户联合投资计划,根据当时的报道,Intel参与ASML的计划分为两期,第一期目标为Intel投资5.53亿欧元(6.8亿美元)协助ASML开发18英寸晶圆制造工具,同时Intel将以17亿欧元(21亿美元)的代价收购ASML公司大约10%的盘前交易已发行股票。

第二期目标还要等ASML股东批准,它包括额外的2.76亿欧元(3.4亿美元)的有关EUV技术的R&D研发资金,以及价值8.38亿欧元(10亿美元)的5%盘后交易已发行股票。届时Intel将持有ASML 15%股份,整个产权交易价值约为25亿欧元(31亿美元)。

作为协议的一部分,Intel需要提前购买ASML的450mm晶圆及EUV开发、生产工具。

台积电方面也同时参与。当时消息显示,台积电将以8.38亿欧元购买ASML的5%股权,并同意在下一代光刻技术如超紫外技术和450毫米光刻设备的研发上向ASML投资2.76亿欧元。不过台积电在2015年全部处理了ASML 股权,获利6.95 亿美元。

至于格芯方面,从公开信息查找,似乎他们并没有参与这个计划。

如果光从股权上看,则是Intel、三星、台积电三者按照从先到后,如果这些股份占有董事会的决策权的话,那么Intel在ASML中的话事权似乎更大,三星想一下子包揽所有的EUV设备,是否会获得来自Intel等的阻挠,这未能尽知。

这些基于股权话事的说法是来自作者的猜测,不过按照常理,Intel和三星等投入到ASML的计划和股份中,除了推动EUV的进展,共同受益外,在未来竞购中处于领先地位,应该也是他们前赴后继投入的一个重要原因。

当然,至于隐藏在后面的具体细则,作者未能得知,希望有知情者透露。

我们不妨从EUV之前的购买状况来分析一下。

根据ASML的公开信息显示, 2016年第四季度卖掉了6台EUV光刻机,而根据分析师透露,当中的五台都是卖给了台积电。

三星方面无疑是最大买主,据相关消息透露,他们已经购入了超过十台的EUV设备,并将其装设于韩国华城市的18号生产线(Line 18)全力抢占晶圆代工版图

至于英特尔方面,和他们的EUV规划一样,没有消息透露他们买了多少台设备,但在2015年,有消息泄露有美商一口气买了好几台EUV光刻机。有人就猜测那是Intel。

至于格芯方面的具体布局依然是没有消息源可寻。

正如开头所说,ASML今年的EUV产能是12台,全部销售一空,但他们在明年会将产能提升到24台。但根据ASML在7月发布的报告显示,他们挤压的EUV订单已经达到了21台。考虑到现在晶圆厂的竞争情况,未来的竞争肯定会加剧的。

综上所述,三星想一口气买下所有的EUV光刻机,也许只是一个大胆的设想。不过考虑三星之前斥巨资垄断了OLED生产关键设备供应商CanonTokki多年的产能,可以看出三星再次做出这种事也有很大可能。通过内存疯长挣得盘满钵满的韩国巨头现在真可谓是财大气粗,况且对ASML来说,Business is business,和谁不是做生意呢?

不知道大家怎么看到三星这个“阳谋”?

文/半导体行业观察 李寿鹏

韩媒消息源出处:http://www.businesskorea.co.kr/english/news/ict/19605-keeping-leadership-7-nano-era-samsung-electronics-seeks-buy-next-gen-semiconductor

今天是《半导体行业观察》为您分享的第1432期内容,欢迎关注。

R

eading

推荐阅读(点击文章标题,直接阅读)

芯片设计的思路正在转变

自主设计芯片成风,厂商都在想什么?

蔡南雄:集成电路有三类,发展的重点应该各不同


关注微信公众号 半导体行业观察 ,后台回复关键词获取更多内容

回复 科普 ,看更多半导体行业科普类的文章

回复 DRAM ,看更多DRAM的文章

回复 光刻 ,看更多光刻技术相关的文章

回复 英特尔 ,看更多与英特尔公司相关的文章

回复 全面屏 ,看更多全面屏相关的文章

回复 双摄 ,看更多关于手机双摄像头的文章

回复 中芯 ,看更多与中芯国际相关的文章

回复 台积电 ,看更多与台积电相关的文章


回复 展会 ,看《2017最新半导体展会会议日历》

回复 投稿 ,看《如何成为“半导体行业观察”的一员 》

回复 搜索 ,还能轻松找到其他你感兴趣的文章!



分享到:
微信 新浪微博 QQ空间 LinkedIn

上一篇:Prologium与Weltmeister合作开发LCB动力汽车

下一篇:[原创] 携手商汤科技,高通加速端侧人工智能的普及

打开摩尔直播,更多新闻内容
半导体大咖直播分享高清观看
立即下载