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ITRI加入台积电供应链与新型液体纳米颗粒监测仪

JosephineLien,Taipei;WillisKe,DIGITIMES ·2017-09-15 11:08·Digitimes
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台湾工业技术研究院(ITRI)利用新一代液体纳米颗粒监测系统,深入台湾半导体制造公司(TSMC)的供应链,被称为半导体公司的"鹰眼" ,因为它可以将粒子监测为小根据政府资助的研究机构,为5nm。

在台湾南港展览中心举行的台湾2017年SEMICON台湾2017年SEMICON台湾展示的众多创新半导体设备和技术中,该系统可用于监测20nm以下液体颗粒的尺寸和浓度,通常"不可检测" 通过现有的半导体工艺监测设施,ITRI研究人员说。

研究人员补充说,监测系统可以连续24小时测量半导体工厂使用的浆料,异丙醇,过氧化氢和超纯水中纳米颗粒的尺寸分布和浓度。该系统克服了现有光散射工具的40nm监测限制,能够将液体颗粒从5nm到1000nm进行监测,从而有效地帮助半导体企业更顺利地进入10nm和7nm工艺

与技术创业公司合资

工程院已经开始履行台积电的订单,预计将赢得美国主要半导体厂商的订单。由于新一代液体纳米颗粒监测仪在技术和设备生产方面已经成熟,经过五年的发展,ITRI已经决定通过与科技创业公司合作成立的合资企业,脱离技术进行商业化2017年。

另一个令人印象深刻的ITRI展会是其扇出的面板级封装技术,源于其灵活的AMOLED产品组合,可以应用于具有高引脚数的IC封装。基于其FlexUp和灵活的显示核心技术,ITRI制造了3层RDL(再分配层)薄膜,用于扇出面板级薄封装的芯片,适用于便携式设备和物联网(物联网)应用。

另一个值得注意的展览是用于晶圆研磨的空气静力轴。空气静力轴承由多孔陶瓷材料制成,具有比微孔静电轴承更高的刚性和负载能力。涉及的核心技术包括性能和流量分布的模拟分析,多孔空气静力轴承的制造和超精密加工ong他人。空气静力轴可以帮助提高台湾半导体公司所需的晶圆磨削设备的本地供应比例。目前,晶圆磨削设备关键部件的90%来自日本。

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ITRI在2017年SEMICON台湾展示新一代液体纳米颗粒监测仪。
图片: Josephine Lien,Digitimes,2017年9月

文章来源:http://www.digitimes.com/news/a20170914PD208.html

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