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华立捷订购多台Aixtron设备 扩大6英寸VCSEL产能

微迷网 ·2018-09-17 10:49·ofweek
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华立捷订购多台Aixtron设备 扩大6英寸VCSEL产能

华立捷选用AIX 2800G4-TM MOCVD系统,增加外延晶圆尺寸,提高产能

据麦姆斯咨询报道,台湾垂直腔面发射 激光器 (VCSEL)外延和芯片制造商HLJ Technology(华立捷科技股份有限公司,以下简称“华立捷”)已订购多台MOCVD设备AIX 2800G4-TM。该订单将用于扩大华立捷的晶圆产能,同时将VCSEL的晶圆尺寸从4英寸提高至6英寸。

Aixtron表示,其全自动行星式反应器系统将于2018年第四季度以8 x 6英寸的配置供货。

据Aixtron称,AIX 2800G4-TM被视为包括VCSEL在内的高端 激光 应用的行业标准,特别是在3D传感领域,这是因为行星式反应器提供的工艺性能卓越,可精确控制外延层厚度和均匀性。因此,使用该系统的工厂能在满足高产量的同时提供高质量的产品。

华立捷总经理Larry Lai说道:“为了满足市场对外延晶圆和芯片级VCSEL的快速增长需求,我们决定将晶圆尺寸提高到6英寸。从2018年第四季度开始,新订购的两套Aixtron MOCVD系统将抵达华立捷。2019年第二季度,第一条完整的VCSEL量产线将投入使用。”

“很高兴我们的新合作伙伴华立捷选择了AIX 2800G4-TM系统,这套设备可实现一流的VCSEL外延和芯片制造量产工艺。期待我们与华立捷的合作,我们将全力协助华立捷的生产工艺与我们的设备完美匹配。”Aixtron首席执行官Bernd Schulte说。

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